无颗粒晶片清洁
到目前为止,晶片清洁是半导体行业中最常见的制造步骤,因为清洗不足会带来致命的后果。小颗粒或化学残留物会导致产量损失,甚至晶片大量地或完全地受损。
有两个为何必须如此频繁地清洗晶片的原因:首先,晶片会与不同的化学物质(例如:腐蚀液体、湿润计或光刻胶)接触,每个加工步骤之后必须将其完全从晶片上清除。其次,在每个处理步骤中都要对晶片进行机械移动,以将其返回到不同的控制和测量设备中。每个动作不可避免地和机器接触摩擦,会产生附着于晶片的微粒子。
员工和制程本身也会产生微粒。为了在清洁过程中也能提供不含任何微粒杂质的酸和其他化学物质,我们对所用产品提出了更高的要求。因此,emtechnik使用的产品都在ISO 14644-1无尘室5(自从2018起也有无尘室7)环境控制中生产。举例来说,这意味着我们的喇叭口接头符合最高标准的纯度与清洁。